臭氧具有强大的杀菌消毒、脱色、漂白、消除臭味等能力，非常适合用于处理废水。
产生臭氧的原料气体是空气或氧气。原料气体必须经过除油、除湿、除尘等净化处理，否则会影响臭氧产率和设备的正常使用。用空气制成臭氧的浓度一般为10～20毫克/升，用氧气制成臭氧的浓度为20～40毫克/升。这种含有1～4%（重量比）臭氧的空气或氧气就是水处理时所使用的臭氧化气源。
空气或氧气通过臭氧发生器处理后，变成臭氧气体。臭氧通过气水接触设备，分布在废水中，一般采用微孔扩散器、鼓泡塔或喷射器、涡轮混合器来完成。臭氧的利用率最好达到90%以上，剩余的臭氧随尾气排出。为避免多余的臭氧污染空气，应使用合适的方法，分解臭氧尾气。
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